Khái niệm nước siêu tinh khiết dùng để chỉ nước với độ tinh khiết cao, hầu như không có các chất vô cơ như các cation, anion, chất rắn và cũng không chứa chất hữu cơ. Nước siêu tinh khiết theo định nghĩa chỉ có H2O và ion hydrogen H+ và hydroxide OH– trong trạng thái cân bằng.
Nước siêu tinh khiết được sử dụng rộng rãi trong các ngành sản xuất công nghiệp đòi hỏi chất lượng nước cực cao như sản xuất chất bán dẫn, điện tử, vi mạch, sản xuất dược phẩm, hay trong phòng thí nghiệm.
Khác với nước tinh khiết, nước siêu tinh khiết có độ dẫn điện thấp, điện trở suất rất cao có thể đạt tới trên 18mΩ cm. Bảng dưới đây cho thấy sự khác biệt giữa nước siêu tinh khiết, nước tinh khiết
| Chất lượng | Nước siêu tinh khiết | Nước tinh khiết |
| Điện trở suất | 10 -18 MΩ | 1 – 10MΩ |
| Độ dẫn | 0,1 – 0,0555ms/cm | 1,0 – 0,1 ms/cm |
Điện trở suất và độ dẫn điện của nước phụ thuộc vào nhiệt độ. Nếu nhiệt độ tăng 10c, độ dẫn điện của đường ống dẫn nước sẽ tăng khoảng 2%, trong khi đó độ dẫn điện của nước siêu tinh khiết sẽ tăng tới 6%.
Một số phương pháp để sản nước nước siêu tinh khiết
– Hệ thống xử lý nước siêu tinh khiết sử dụng hạt nhựa trao đổi ion
– Hệ thống khử khoáng nước bằng thiết bị khử ion điện tử EDI
