Tiêu chuẩn nước siêu tinh khiết dùng trong điện tử và bán dẫn công nghiệp được ban hành bởi tổ chức quốc tế ASTM. Tiêu chuẩn này cung cấp các khuyến nghị cho chất lượng nước phục vụ cho sản xuất thiết bị điện tử và bán dẫn.
Tiêu chuẩn này đề cập đến chất lượng nước siêu tinh khiết
+ Sử dụng cho việc rửa các thành phần chất bán dẫn trong sản xuất
+ Nước sử dụng để làm sạch và hoạt đông khắc, quá trình oxy hóa bề mặt silicon, chuẩn bị mạ ..
+ Các ứng dụng khác trong phát triển và chế tạo các thiết bị bán dẫn, thiết bị màng mỏng, diot phát sáng, hình ảnh, mạch in, các thiết bị bộ nhớ, thiết bị hút chân không, hoặc các thiết bị điện
Sáu loại nước cấp cho sản xuất điện tử theo tiêu chuẩn dưới đây
|
Chỉ tiêu |
Loại E1 |
Loại E 1.1 |
Loại E 1.2 |
Loại E2 |
Loại E3 |
Loại E4 |
| Độ rộng (micron) | `1,0-0,5 | 0,35 -0,25 | 0,18 -0,09 | 5,0 -1,0 | >5,0 | – |
| Điện trở ( 250C) ( trực tuyến) | 18,1 | 18,2 | 18,2 | 16,5 | 12 | 0,5 |
| TOC (mg/l)( online cho < 10 ppb) | 5 | 2 | 1 | 50 | 300 | 1000 |
| Oxy hòa tan (mg/l) | 25 | 10 | 3 | – | – | – |
| Phần còn lại trên ống sau khi bay hơi (mg/l) | 11 | 0,5 | 0,1 | – | – | – |
| Vi khuẩn trong CFU/ 100 ml | 5 | 3 | 1 | 10 | 50 | 100 |
| Silic tổng (mg/l) | 5 | 3 | 1 | 10 | 50 | 1000 |
| Silic hòa tan (mg/l) | 3 | 1 | 0,5 | – | – | – |
| Amoni | 0,1 | 0,1 | 0,05 | – | – | – |
| Clorua | 0,1 | 0,05 | 0,02 | 1 | 10 | 1000 |
| Florua | 0,1 | 0,05 | 0,03 | – | – | – |
| Nitrat | 0,1 | 0,05 | 0,02 | 1 | 5 | 500 |
| Phot phat | 0,1 | 0,05 | 0,02 | 1 | 5 | 500 |
| Sunfat | 0,1 | 0,05 | 0,02 | 1 | 5 | 500 |
| Canxi | 0,05 | 0,02 | 0,002 | – | – | – |
| Magiê | 0,05 | 0,02 | 0,002 | – | – | – |
| Mangan | 0,05 | 0,02 | 0,002 | – | – | – |
| Niken | 0,05 | 0,02 | 0,002 | 1 | 2 | 500 |
| Kaili | 0,05 | 0,02 | 0,005 | 2 | 5 | 500 |
| Natri | 0,05 | 0,02 | 0,005 | 1 | 5 | 1000 |
Khuyến nghị các loại chất lượng nước áp dụng như sau:
Loại E1: Nước này được sử dụng để sản xuất các thiết bị có chiều rộng từ 0,5 đến 1,0 mm
Loại E 1.1: Sử dụng để sản xuất các thiết bị có chiều rộng từ 0,25 đến 0,35 mm
Loại E1.2: Được sử dụng trong sản xuất các thiết bị có độ rộng từ 0,09 – 0,18 mm. Đây là nước dành cho những ứng dụng quan trọng nhất
Loại E2: Dùng để sản xuất thiết bị có kích thước từ 1 -5mm
Loại E3: Dùng để sản xuất thiết bị có kích thước lớn hơn 5mm. Loại này có thể được sử dụng để sản xuất linh kiện lớn hơn và một số thành phần nhỏ không bị ảnh hưởng bởi một lượng nhỏ tạp chất
Loại E4: Thường được sử dụng cho các giải pháp mạ và cho các ứng dụng khác mà sử dụng chất lượng nước thấp hơn
