Nước cho sản xuất điện tử yêu cầu chất lượng cao ở mức siêu tinh khiết. Về cơ bản hệ thống cấp nước cho sản xuất điện tử gồm:
Tiền xử lý: Quy trình trong hệ thống tiền xử lý bao gồm xử lý nước thô bằng các công đoạn như keo tụ, tạo bông, lắng, lọc
Khử muối ( khử khoáng nước): Quá trình này là cơ sở cho sản xuất nước siêu tinh khiết của tất cả các quá trình và có thể bao gồm một, hay nhiều quá trình trao đổi ion, màng lọc thẩm thấu ngược, khử ion bằng thiết bị EDI liên tục, hoặc là sự kết hợp của tất cả các quá trình này.
Kích thước của hệ thống ảnh hưởng đến viẹc lựa chọn có sự kết hợp của các quá trình khử muối.
Các công đoạn của quá trình khử muối có thể bao gồm cả hai cột trao đổi ion và cột chứa hạt trao đổi ion hỗn hợp, hệ thống lọc nước RO, thiết bị EDI
Hệ thống diệt hữu cơ và sinh học
Hệ thống khử trùng nhằm tiêu diệt các chất gây ô nhiễm sinh học và hữu cơ là một sự bổ sung quan trọng cần có cho bất kỳ một hệ thống cấp nước nhằm tạo ra nước siêu tinh khiết cho sản xuất.
Phương pháp giảm thiểu tối đa ô nhiễm sinh học bao gồm việc bổ sung các hydrogen peroxide và ozone. Bức xạ tia cực tím tại bước sóng 185 nm cung cấp năng lượng mạnh mẽ để phá vỡ các vi khuẩn .
Tia cực tím ở bước sóng 254 nm làm giảm đáng kể sự phát triển của sinh vật bằng cách phá vỡ các cặp DNA của vi khuẩn. Quá trình này ngăn chặn các vi khuẩn phát triển.
Sử dụng màng lọc bao gồm màng lọc thẩm thấu ngược và màng siêu lọc cũng có thể loại bỏ các tạp chất sinh học cũng như các phân tử hữu cơ
Màng lọc thẩm thấu ngược
Màng lọc loại bỏ các hạt có kích thước rất nhỏ trong nước, đây là bộ phận quan trọng trong hệ thống cấp nước, màng lọc RO có thể tham gia vào nhiều công đoạn khác nhau trong hệ thống
Hệ thống lưu trữ và phân phối
Việc lưu trữ nước cấp điện tử trong quá trình sản xuất là rất quan trọng bởi vì tạp chất được bổ sung vào nước theo tỷ lệ khả năng hòa tan của các tạp chất, diện tích tiếp xúc và thời gian liên hệ giữa nước, không khí, vật liệu chứa nước. Điều quan trọng là hạn chế sự tiếp xúc của nước với vật liệu bồn lưu trữ, khối lượng lưu trữ cũng cần được giảm thiểu trên cơ sở tính toán chặt chẽ khối lượng nước vừa đủ phục vụ sản xuất.
Cần quan tâm đến không khí trên mặt nước, vì ô nhiễm không khí có thể gây ô nhiễm sinh học, hữu cơ, vô cơ và các hạt tạp chất. Nitơ với độ tinh khiết cao 99,999% tinh khiết nên được sử dụng để chặn không khí trên các bồn lưu trữ nước
Hệ thống phân phối cũng cần phải đảm bảo nghiêm ngặt về mức độ an toàn, tránh sự phát triển của vi khuẩn gây ảnh hưởng đến chất lượng nước của toàn hệ thống. Các tạp chất sinh học có xu hướng phát triển trong dòng nước không liên tục nên dòng chảy của nước thông qua hệ thống phân phối phải được duy trì liên tục, tốc độ dòng chảy được tính toán trên cơ sở công suất thiết kế của toàn hệ thống.
Ống nước trước khi sử dụng tốt nhất thực hiện rửa trong vài ngày với nước tinh khiết. Nếu hệ thống không hoạt động trong một khoảng thời gian hoặc không sạch khi lắp đặt, cần tiến hành thanh trùng cho hệ thống bằng hydro peroxide hoặc ozone. Ngoài ra cũng cần tính đến việc giảm thiểu khả năng xảy ra sự ô nhiễm trở lại của hệ thống từ vòi nước hoặc van
